某集成电路公司是专业的流晶圆专工企业,提供12吋晶圆专工服务。拥有28纳米Poly-SiON技术、14纳米量产等尖端制程,用于生产汽车中的IC。为保证连续生产的需求、实现预防性维护、减少意外停机损失,在关键泵类设备上架设量测点位,每小时监控马达振动状态并设罝警戒值。 该系统实施后,通过振动数据监测,发现马达-MO-H数据异常,经数据分析,提前预警了轴承油品问题;如任其发展.轻者发热、温度异常,更严重的情况会出现相互抱死或散架触发过流保护停机•甚至烧毁电机。更換新轴承及轴承油品后问题解决,避免造成轴承磨损问题,也证实由振动频谱分析是可以预防设备不至于达到最终阶段而造成更大损失。